热搜关键词：流体抛光机,磨粒流抛光设备,内孔抛光

这是晶圆加工中很常见的一根喷淋管，管子上面的小孔孔径规格从0.1mm到1mm不等，类型很多。我们做了一个实验，看看磨粒流给这些小孔去毛刺前后，喷孔喷出来的水柱有什么变化。

首先是没有去毛刺的喷淋管，我们可以看到这些小孔里射出来的水柱，有些是歪斜的，有些是分叉的，这是因为小孔里有金属毛刺，毛刺改变了水流正常的行进方向和路线，让水柱变得散乱。这种情况，在喷淋的时候，就不会起到均匀冷却的作用，有些地方能喷到，有些地方就喷不到了。

我们再看看用磨粒流给这些小孔去毛刺后的水柱，水柱变得均匀了，而且又顺又直。

同时我们还发现，孔径越小的喷孔，毛刺的影响就会越大，就越要把毛刺给清理干净。另外，这些毛刺还有一个风险，就是可能随着高速水流一起被冲下来，冲击到晶圆上，将晶圆损坏。

上图是小孔去毛刺后在放大镜下的画面，孔口处是干净的，也没有受到什么破坏，效果非常好。